KC

반도체 및 LCD, Solar 제조 공정에 필요한 고순도의 Chemical을 공정설비에서 필요로 하는 유량으로 안전하게 공급하는 장비이며 Tank Lorry 또는 Drum 용기의 약액을 저장 Tank로 충진후 Pump 또는 N2 가압 용기를 통해 공정 설비로 공급합니다.

시스템 사양

공급방식 : Pump 또는 N2 가압
제어방식 : 전자동 시스템 (PLC & Touch Screen)
공급유량 : 1~100LPM
공급압력 : 0.3~0.5MPa
장비 크기 : 1600(w) x 2000(d) x 2200(h)
장비 무게 : 700~1500kg
약액종류 : 무기(HCL, HF, TMAH, KOH ...etc) / 유기(NMP, IPA, THINNER ...etc)

시스템 장점

자동/수동 운전가능
Chemical 특성별 안전장치 설치
오 조작 방지용 인터록 가능
알람 기능 및 알람 이력 관리
상위 감시용 통신 지원

고농도의 Chemical을 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필요한 저농도의 Chemical로 만드는 장치이며 일반적으로 DI와 혼합하여 공정에서 필요로 하는 새로운 농도의 Chemical을 생산 할 수 있다. 사용자가 언제든 원하는 농도로 약액을 생산할 수 있어 Chemical 구입 비용을 절감할 수 있습니다.

시스템 사양

공급방식 : Pump 또는 N2 가압
제어방식 : 전자동 시스템 (PLC & Touch Screen)
공급유량 : 1~100LPM
공급압력 : 0.3~0.5MPa
장비 크기 : 3500(w) x 2000(d) x 2200(h)
장비 무게 : 1500~2500kg
혼합 탱크 : 0.5~4m3 혼합 약액 : TMAH, KOH, HF, NH4OH ...etc

시스템 장점

쉬운 장비 조작
Chemical 특성 별 안전장치 설치
오 조작 방지용 인터록 기능
알람 기능 및 알람 이력관리
상위 감시용 통신 지원